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[期刊论文] 作者：郑才国, 陈庆川, 聂军伟, 李民久, 陈美艳,,
来源：实验室研究与探索 年份：2020
为了实现光学元件表面超光滑加工,避免传统机械加工方法造成的亚表面损伤,将射频等离子体加工应用于石英玻璃抛光加工。分析了通过调节离子束的能量、束流密度和入射角等工艺...
[期刊论文] 作者：郑才国,陈庆川,聂军伟,李民久,陈美艳,,
来源：真空 年份：2020
离子束具有加工精度高、可控性好、加工面洁净无污染等优点,利用其加工超光滑光学元件可避免传统机械加工方法所带来的亚表面损伤.本文将射频等离子体应用于石英玻璃的加工,...
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