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[期刊论文] 作者：唐恒敬,张可锋,吴小利,王妮丽,陈新禹,李雪,龚海梅,,
来源：红外与激光工程 年份：2008
为了改善器件的响应均匀性,通过优化台面制作与SiNx钝化工艺制备了高均匀性256元线列正照射InGaAs探测器,实现了该探测器与读出电路的互连,测试了器件的I-V特性、光谱响应、...
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