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[期刊论文] 作者:许帅,韩森,吴泉英,张凌华,王全召,陈秋白,王艳, 来源:应用光学 年份:2020
使用一个特殊圆台面反射镜,在Fizeau(菲索)干涉仪系统中,可实现对圆柱外表面粗糙度的一次性测量。但反射镜与待检测圆柱的空间相对位置很难精准确定,因而会引入测量失调误差,...
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