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[期刊论文] 作者：蓝加平,陈首部,
来源：中南民族大学学报(自然科学版) 年份：2005
分析了扩散硅绝对压力传感器的静态特性,提出了线性校正和零点校正方案,并利用Matlab软件对其性能进行了仿真,结果表明:解决了该类绝对压力传感器温漂的补偿问题,用廉价的压力敏感元件实现了对真空压力分辨到1Pa的测量.......
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