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[期刊论文] 作者：张洪彬,韦桂欢,周升如,
来源：质谱学报 年份：2001
本文利用色谱/质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定.采用选择离子监测(SIM)方式测定,定量选择离子m/z为69,方法简单、准确、选择性好,CF4浓度在55～5500 mg/m3范围内与峰面积...
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