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[期刊论文] 作者：姜丽莉,辛艳青,宋淑梅,杨田林,李延辉,韩圣浩,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2010
在室温下,采用直流磁控溅射方法制备了不同厚度的氧化锌掺铝薄膜,并对样品进行了快速退火处理,退火温度为600℃,时间为60 s。研究了退火前后薄膜的结构、光电特性的变化情况...
[期刊论文] 作者：宋淑梅,杨田林,辛艳青,姜丽莉,李延辉,庞志勇,林亮,韩圣浩,,
来源：功能材料 年份：2010
采用射频磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO（ZnO掺杂Y2O3简称YZO）。在薄膜厚度为600nm的情况下,研究了薄膜电学...
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