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[期刊论文] 作者：杨田林,宋淑梅,辛艳青,李延辉,杜桂强,韩圣浩,
来源：人工晶体学报 年份：2012
室温下采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型ZnO∶Y（ZnO掺杂Y2O3,简称ZnO∶Y）透明导电薄膜。研究了薄膜厚度对ZnO∶Y薄膜结构、光...
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