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[会议论文] 作者:韩邦成,李也凡,贾宏光,于振雷,吴一辉, 来源:2003第三届精密工程学术研讨会 年份:2003
从AMB的线性化方程出发,得到磁力及其在工作点处相对应的电流刚度和位置刚度方程,分析了偏置电流对电流刚度和位置刚度的影响,并分别给出了一种径向和推力磁轴承在三种不同偏...
[期刊论文] 作者:王建辉,韩邦成,李也凡,黎海文,贾宏光,吴一辉, 来源:光机电信息 年份:2003
光刻胶的前烘与坚膜是微机械加工工艺中不可缺少的两道工序.用于光刻胶烘干的热板对表面温度场分布的均匀性和温度控制稳定性均有较严格的要求.本文描述了利用有限元软件对加...
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