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[期刊论文] 作者：王伟,赵甜甜,刘强,韩邦成,牛萍娟,桑建,
来源：光学精密工程 年份：2023
对巨量转移（Mass Transfer, MT）方案和运动定位平台（Motion Positioning Platform, MPP）的研究现状及其未来发展进行了详细阐述。根据芯片转移方式，将MT方案分为精准拾取-释放技术、自组装技术、滚轴转印技术、激光剥离技术，结合芯片转移效率和良率，论述了国内外MT方案......
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