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[期刊论文] 作者：马战红,
来源：建筑工程技术与设计 年份：2014
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[期刊论文] 作者：李新利,马战红,任凤章,许荣辉,柳勇,
来源：人工晶体学报 年份：2014
采用射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）方法制备了沉积时间系列的微晶硅薄膜。采用椭圆偏振光谱仪（SE）和原子力显微镜（AFM）表征薄膜表面粗糙度,分析了表面粗糙度随沉积时间的演化......
[期刊论文] 作者：李新利,马战红,任凤章,柳勇,孙浩亮,卢景霄,,
来源：半导体技术 年份：2014
采用射频等离子体增强化学气相沉积法制备了硼不同掺杂比系列的p型微晶硅薄膜。采用光发射谱仪对薄膜的沉积过程进行了原位表征,采用喇曼光谱和椭圆偏振光谱仪对薄膜的结构及...
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