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[期刊论文] 作者：岳陆游,何兴春,丁建宁,杨继昌,马皓晨,,
来源：传感器与微系统 年份：2010
粘附现象是微／纳机构中特有的现象，在构件材料强度满足要求的条件下，微／纳机构中的粘附和摩擦是造成其失效的主要原因。如何防止或减轻粘附已成为微／纳机电系统（MEMS/NEMS）领域的研......
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