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[期刊论文] 作者：高正源, 杨栋, 孙程锦, 卢再亮, 孙鹏飞,
来源：热加工工艺 年份：2023
氮化钛薄膜具有出色的涂层性能，如高硬度、低电阻率和良好的耐蚀耐磨性等，在汽车、航空航天和生物医学中有着广泛的应用。磁控溅射技术因其成本低、沉积速率高以及绿色环保等优势，成为氮化钛薄膜制备的主要技术之一。综述了磁控溅射工艺参数对氮化钛薄膜择优取向、......
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