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[期刊论文] 作者：邓俊宝,黄万才,莫杰,胡通,冯晓青,蒲云平,史晶晶,赵艳超,
来源：化工技术与开发 年份：2021
硒化氢是一种制备红外光感材料硒化锌的重要原料,也是用于集成电路的外延、掺杂和蚀刻等工艺的重要电子特气。本文对硒化氢的制备和提纯技术进行了综述。...
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