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[期刊论文] 作者：黄美东,杜姗,王丽格,张琳琳,
来源：中国激光 年份：2011
采用射频反应磁控溅射系统，在K9双面抛光玻璃基底上制备氮化铝薄膜，通过实验测试并结合数值拟合计算研究了其他参数保持不变的条件下，沉积气压对其结构和光学性能的影响。薄膜的微观结构通过X射线衍射和原子力显微镜进行表征；利用光栅光谱仪测试了各薄膜样品的透射......
[期刊论文] 作者：张琳琳,黄美东,李鹏,王丽格,佟莉娜,,
来源：天津师范大学学报(自然科学版) 年份：2011
利用反应磁控溅射制备AlN薄膜,研究了基底负偏压对薄膜结构及其性能的影响.XRD和SEM结果表明：用此方法获得的AlN薄膜呈晶态,负偏压对AlN择优取向产生一定的影响,随着偏压的增...
[期刊论文] 作者：李鹏,黄美东,佟莉娜,张琳琳,王丽格,李晓娜,,
来源：天津师范大学学报(自然科学版) 年份：2011
分别采用磁控溅射和电弧离子镀在抛光后的W18Cr4V高速钢基体表面沉积TiN膜层,利用纳米力学系统、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜进行测试,比较了两种方法所制...
[期刊论文] 作者：黄美东,张琳琳,王丽格,佟莉娜,李晓娜,董闯,,
来源：稀有金属 年份：2011
采用反应磁控溅射法结合加热控温电源,在光学玻璃基底上制备氮化铝(AlN)薄膜,通过X射线衍射(XRD)技术对薄膜样品物相结构进行分析,利用纳米压痕仪测试薄膜样品的硬度及弹性模...
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