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[期刊论文] 作者:吴彦超,刘豫瑶,刘洋,高晟元,黄美东, 来源:真空 年份:2021
采用电弧离子镀技术,通过改变调制比沉积Cr/TiN纳米多层膜.利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪研究了调制比对Cr/TiN纳米多层膜表面形貌、微观结构...
[期刊论文] 作者:武英桐,李晓敏,白睿,王东伟,王宇,黄美东, 来源:真空 年份:2021
为了改善电弧离子镀薄膜表面存在的大颗粒污染问题,在真空室内附加一个与靶-基连线垂直的偏置电场,探究不同偏置电压对薄膜表面形貌、微观结构和力学性能的影响规律.结果表明...
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