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[期刊论文] 作者：刘金龙,李成明,陈良贤,黑立富,吕反修,,
来源：无机材料学报 年份：2010
随着CVD人工合成金刚石薄膜质量的不断提高,其优异的电学性能在高频、大功率领域特别是场效应管中的应用受到了极大地关注.制作金刚石薄膜场效应管,电子级质量的薄膜、形成良...
[期刊论文] 作者：李成明,王李梅,陈良贤,刘金龙,黑立富,吕反修,,
来源：人工晶体学报 年份：2010
直流电弧等离子体喷射法制备自支撑金刚石膜时,电弧区域可分为弧心、弧干和弧边三个区域。本文运用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、激光Raman光谱、正电子湮没寿命谱（PAL）和......
[期刊论文] 作者：张营营,李成明,陈良贤,刘金龙,黑立富,吕反修,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2010
对直流电弧等离子体喷射化学气相沉积技术,在φ76.2 mm的Si衬底上沉积得到的金刚石膜,通过SEM和激光Raman表征其质量均匀性。为缓解金刚石膜/Si复合片的内应力,采用台阶式冷...
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