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[学位论文] 作者:龚猛, 来源:中国科学院大学 年份:2017
[期刊论文] 作者:陈亚男, 张烨, 郁万成, 龚猛, 杨霏, 刘瑞, 王嘉铭, 李, 来源:微纳电子技术 年份:2017
[期刊论文] 作者:陈亚男,张烨,郁万成,龚猛,杨霏,刘瑞,王嘉铭,李玲,金鹏,王占国,, 来源:微纳电子技术 年份:2017
简述了金刚石半导体材料的主要制备方法,以及掺杂技术及其在器件制备中应用的研究现状。重点介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备高质量金刚石的优势以及在生长速率...
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