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Through-thickness texture gradient of tantalum sputtering target
[期刊论文] 作者：Chao Deng,Shi-Feng Liu,Xiao-Bo Hao,Jing-Li Ji,Qing Liu,Hai-Yang Fan,, 来源：Rare Metals 年份：2017
For sputtering targets, through-thickness texture is critical for assuring reliable sputtering performance.In this paper, through-thickness texture gradient of...
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