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[期刊论文] 作者：Ghada H.DUSHAQ,Tadesse MULUGETA,Mahmoud RASRAS,
来源：光子传感器（英文版） 年份：2016
An optically enabled z-axis micro-disk inertia sensor is presented,which consists of a disk-shaped proof mass integrated on top of an optical waveguide.Numerica...
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