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,Reduction of the phosphorus contamination for plasma deposition of p-i-n microcrystalline silicon s
[期刊论文] 作者：Wang Guang-Hong,Zhang Xiao-Dan,Xu Sheng-Zhi,Zheng Xin-Xia,Wei Chang-Chun,Sun Jian,Xiong Shao-Zhen,Geng,
来源：中国物理B（英文版） 年份：2010
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