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,Fabrication Process of Sol-Gel Spin Coating for SrBi2Ta2O9 Films Applied to FeRAM
[期刊论文] 作者：JIA Ze,REN Tian-Ling,ZHANG Zhi-Gang,LIU Tian-Zhi,WEN Xin-Yi,XIE Dan,LIU Li-Tian, 来源：中国物理快报（英文版） 年份：2006
We investigate SrBi2Ta2O9 (SBT) films prepared by the sol-gel spin method with different spin rates or different anneal conditions for the first layer of SBT, a...
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