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[期刊论文] 作者：朱京涛,王占山,王洪昌,张众,王风丽,秦树基,陈玲燕,崔明启,
来源：光学精密工程 年份：2004
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片.基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制...
[期刊论文] 作者：徐壵,王占山,徐敬,张众,王洪昌,朱京涛,王风丽,王蓓,秦树,
来源：光学精密工程 年份：2004
介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法.由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子...
[期刊论文] 作者：吴文娟,王占山,秦树基,王风丽,王洪昌,张众,陈玲燕,徐向东,付绍军,
来源：光学精密工程 年份：2004
结合X射线荧光分析和同步辐射单色器对窄光谱带宽多层膜的需求,开展了窄光谱带宽刻蚀多层膜光栅的理论和实验研究。用平均密度法从理论上阐明将多层膜刻蚀成不同刻蚀比的多层...
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