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[期刊论文] 作者：冯勇建,谢雪望,刘建彰,冯永奇,,
来源：传感技术学报 年份：2008
给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂...
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