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[期刊论文] 作者：周永, 孔翠翠, 李晓伟, 孙丽丽, 郭鹏, 周佳, 李玉宏,
来源：表面技术 年份：2004
目的研究Ti/Al过渡层对不同溅射电流下的Ti/Al共掺杂DLC薄膜的成分、结构、机械性能和结合力的影响。方法采用线性离子束复合磁控溅射技术在316L基底上沉积含有Ti/Al过渡层的...
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