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[期刊论文] 作者:王蕴达,蔡明,谭秀颖,陈兢, 来源:测试技术学报 年份:2008
针对用电容式射频微机械谐振器芯片级测试时信号微小、寄生效应严重、从而使得激励和检测困难的问题,本文对基于固支梁的微机械谐振器的电学测试理论和技术进行了研究.利用机电......
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