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[期刊论文] 作者：陈强,胡乐莎,赵仕明,翟桂林,,
来源：东方电气评论 年份：2011
多晶硅还原预热启动方式中，有很多种启动方式，国内大部分最先采用的是氯气气氛下用卤素灯加热预启动方式，或者用三相高压击穿启动。然而上述方式都存在启动时间长、设备成本较高......
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