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[期刊论文] 作者:刘畅,陈学良,严金龙,顾伟东, 来源:半导体学报 年份:2004
提出了一种用常规硅工艺实现的片上集成电感的螺线型新结构.制造工艺使用标准双层金属布线的常规硅工艺.测量了螺线型集成电感的S参数,从测量数据计算了集成电感的参量.实验的侧......
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