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高频锁相激光干涉仪技术纳米定位系统
[期刊论文] 作者：Luc Chassagne,SuatTopcu,Yasser, 来源：中国计量学院学报 年份：2006
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法，该方法结合双轴机械传输导轨组成了高精度大量程纳米定位系统。系统实现......
高频锁相激光干涉仪技术纳米定位系统
[期刊论文] 作者：Luc Chassagne,Suat Topcu,Yasser Alayli,许素安,, 来源：中国计量学院学报 年份：2006
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导轨组成了高精度大量程纳米定位系统.系统实现...
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