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[学位论文] 作者:卢风铭,
来源:西安电子科技大学 年份:2011
集成电路工艺的不断发展使得器件的特征尺寸接近电子的德布罗意波长,量子效应变得十分明显。电子的直接隧穿效应将导致栅介质的泄漏电流急剧增大,栅氧化层的可靠性问题日益突...
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