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[学位论文] 作者:吴利峰,
来源:武汉工程大学 年份:2010
氢等离子体一般用直流、射频和微波等放电方式产生,已经被广泛用在等离子体化学气相沉积(CVD)、等离子体反应动力学及化学合成等研究工作中。氢等离子体的原位在线检测对于研究等离子体中粒子的物理—化学过程、改进等离子体工艺具有重要意义。本文利用发射光谱技......
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