搜索筛选:
搜索耗时1.1964秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：吴利峰,
来源：武汉工程大学 年份：2010
氢等离子体一般用直流、射频和微波等放电方式产生,已经被广泛用在等离子体化学气相沉积（CVD）、等离子体反应动力学及化学合成等研究工作中。氢等离子体的原位在线检测对于研究等离子体中粒子的物理—化学过程、改进等离子体工艺具有重要意义。本文利用发射光谱技......
相关搜索：
