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[学位论文] 作者:崔江维, 来源:中国科学院研究生院 中国科学院大学 年份:2012
随着集成电路的发展和制造工艺的进步,半导体器件特征尺寸急剧减小至超深亚微米甚至纳米尺度。尺寸缩小带来了低功耗、高速度等优点,满足了卫星对于高性能及小型、轻便化的迫切......
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