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[学位论文] 作者:朱宝旭,, 来源:哈尔滨工业大学 年份:2006
本文在CCD光学显微检测系统基础上,针对尺寸参量显微测量方法进行了深入的研究,建立了一套基于CCD的尺寸参量通用检测系统。本系统对原软件系统做了大量的改进,进一步完善了...
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