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[学位论文] 作者：柳存定,,
来源：中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 年份：2019
以ArF准分子激光器作为光源的193nm光刻机,其半导体集成电路加工制程覆盖130 nm至22 nm,是目前以及未来长时间内半导体光刻工艺中的核心设备。在193nm光刻机设备的制造过程中...
[学位论文] 作者：柳存喜,
来源：成都理工大学 年份：2015
地震层析成像技术是认识地球内部结构强有力的科研工具，在地球科学发展过程中产生了十分巨大的影响。本文应用地震层析成像方法，利用大洋-大陆板块作用的阿拉斯加俯冲带区域和......
[学位论文] 作者：柳存喜,
来源：成都理工大学 年份：2015
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