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[学位论文] 作者：潘栋,
来源： 年份：2017
钽酸锂(LiTaO_3)具有非线性光学,热释电效应等具有研发价值的性能。其作为光学器件、探测器件等器件的重要材料是当前研究的重点。课题中对磁控溅射制备钽酸锂薄膜的工艺及薄膜的光学、电学性能进行了重点研究,使用磁控溅射工艺制备了具有良好光学及电学性能的......
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