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[学位论文] 作者：田小峰,
来源：华南理工大学 年份：2000
该文采用光Ⅰ-Ⅴ法、雪崩热电子注入、俄歇电子能谱(AES)分析和红外光谱分析研究等离子体化学相淀积方法(PECVD)低温制备的富氮SiON薄膜的微观物理结构、光学特性和电学特性....
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