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[学位论文] 作者：禹新路,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2008
相对于传统旋转电机系统,直线电机驱动系统可以提供更高的速度和加速度能力,因此在半导体设备邦定机中应用已经很广泛。但是,在高加速度状态下工作的直线电机系统受到各种系...
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