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[学位论文] 作者:罗明成, 来源:华中科技大学 年份:2012
IC(Integrated Circuit)芯片广泛应用于国防、航空航天、能源和医疗等领域,其生产技术被认为是影响21世纪发展的高新技术之一。IC芯片三维外观检测是其生产流程中的重要环节。...
[学位论文] 作者:罗明成,, 来源:南京大学 年份:2021
微测辐射热计是红外热成像技术的重要组成部分,在火灾探测、安全系统和医疗诊断等方面发挥着重要作用。基于标准集成电路工艺制备的微测辐射热计具有集成度高、成本低、体积小、功耗低和光谱响应宽等明显优势,是未来红外热探测器的重要发展方向。然而,目前这类......
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