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[学位论文] 作者：谢乾,,
来源：北京理工大学 年份：2016
飞秒激光微纳制造技术具有无接触、高精度、灵活可控等特点,已成为研究热点之一,其中高效率直写加工逐渐引起学者们的关注。基于空间光整形的飞秒激光贝塞尔光束具有小光斑直径、长焦深的光强分布特性,能够加工小直径、高深径比、高质量的微纳结构。目前,贝塞尔......
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