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[学位论文] 作者：邓世辉,,
来源：山东大学 年份：2019
随着微机电领域推动产品元件向微小型化、智能化以及集成化的发展,如何提高微型元件的加工精度及加工效率已成为国内外微细加工领域学者的研究热点。微细电解加工以其加工精度高,无残留机械应力、无热应力、刀具损耗且不受材料硬度限制等优势,成为微细加工领域......
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