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[学位论文] 作者：陈时荣,,
来源：桂林电子科技大学 年份：2020
MEMS光开关以其响应速度快、空间光交换、微型化以及与传统CMOS工艺兼容等优点,已经成为了通信应用中数据交换的重要构件。在MEMS光开关的产业链中,国内的个别公司一般只对芯片进行后端封装,无法设计与制造一款性能优异的扭转MEMS光开关,原因之一是对垂直梳齿ME......
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