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[学位论文] 作者：高艳涛,
来源：南开大学 年份：2006
高速沉积微晶硅薄膜，实现微晶硅电池的产业化已经成为国际光伏领域研究热点。本论文采用VHF-PECVD技术，以高速制备器件质量级微晶硅材料为目标，系统研究了激发频率和总气体流量......
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