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[学位论文] 作者：黑立富,,
来源： 年份：2015
论文研究了沉积工艺参数(输入功率、衬底温度、甲烷浓度、表面预处理)及氮掺杂等对气体循环旋转电弧DC Arc Plasma Jet CVD金刚石单晶外延生长的影响规律,研究结果表明衬底温...
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