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[学位论文] 作者：蒋晔, 沈鸿烈, 李杰, 岳之浩, 张磊, 舒栩, 宋扬, 徐浩, 邹健,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2015
黑硅的纳米结构可以大大降低硅表面的入射光反射率,同时由于比表面积的增加使其钝化成为难题,从而影响其太阳电池的性能。等离子体增强原子层沉积(PEALD)法沉积的Al2O3钝化层...
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