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[学位论文] 作者：陈yáo,
来源：中国科学院上海冶金研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 年份：2000
该论文"微机械陀螺的材料和器件设计研究"主要围绕两个方面开展工作.第一方面是中美合作项目"用于微传感器和微驱动器的电铸材料和电铸技术".选定Fe-Ni合金作为电铸材料,并就...
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