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[学位论文] 作者：Guoqing Xu,,
来源：中国科学院研究生院(上海技术物理研究所) 年份：2015
本论文围绕Hg Cd Te环孔探测器的研制开展了研究工作:通过对刻蚀速率和刻蚀轮廓的研究,实现了环孔探测器的关键工艺-环孔通道的制备;通过离子束刻蚀碲镉汞电学特性的研究,确...
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