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[会议论文] 作者：杨兰兰,屠彦,户玎岚,俞永波,杨柳青,石在耀,
来源：中国真空学会2016学术年会 年份：2016
大气压低温等离子体射流由于具有气体温度低，活性粒子含量高，且无需真空腔体，操作简单方便等优点，在生物医学工程、环境工程、纳米技术等领域都表现出了良好的应用前景，是一种新型、经济、便捷的等离子体产生技术.本文以正弦电压驱动的Ar、Ne、He 射流为研究对象，结合......
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