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[会议论文] 作者：连庆庆, 刘维娜, 陈洪建, 阎文博, 刘彩池,,
来源： 年份：2004
使用CGSim晶体生长模拟软件对不同形状的坩埚(方形、方漏斗形、倒方漏斗形)内的铸锭多晶硅晶体生长进行了温度场及流场的数值模拟。对比研究了坩埚形状对晶体内温场和熔体内...
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