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[会议论文] 作者:孙良彦,孔祥霞,尹丽,刘正绣, 来源:2002中国国际传感技术及应用研讨会 年份:2002
本文主要叙述了国内外气体传感器发展的新动态,特别介绍了,为了克服气体传感器一致性、互换性差,而国内外在新材料及传感器新结构方面的发展等概况.其中重点介绍了微结构气体传感器的国内外进展,较详细地介绍了MEMS气体传感器的情况,并提出在微结构气体传感器今......
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