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[会议论文] 作者:张超,光善仪,徐洪耀, 来源:2010中国材料研讨会 年份:2010
  大规模集成电路的发展,集成度不断提高、器件特征尺寸逐渐减小,多层布线和逻辑互联层数增加,导致线间和层间电容增大,信号传输延迟和串扰增大,探索新型低介电材料,替代现有SiO2......
[会议论文] 作者:张超,光善仪,徐洪耀, 来源:2009全国功能材料科技与产业高层论坛 年份:2009
采用水解缩合共沉淀-水热合成的方法,通过调节反应体系的酸度,将稀土离子引入到介孔SiO2中,得到稀土掺杂荧光功能有序介孔材料。采用ICP-AES、SAXS、N2吸附、XRD、29Si NMR、TEM和荧光分光光度计对材料的结构和性能进行了表征,讨论了其结构与荧光性能之间的关系......
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