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[会议论文] 作者：徐德辉[1]熊斌[2]王跃林[2],
来源：第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议 年份：2009
微机械热电堆红外探测器由于无需致冷，后续检测电路简单，成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文设计并制造了两种2.2微机械热电堆红外探测器阵列，热电堆的热电偶材料采用N......
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